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伯東企業（上海）有限公司的工程案例詳情

IBE 離子束刻蝕設備 MRAM 磁性存儲器干法刻蝕應用: 發布日期：2025-05-08 點擊量：89

商鋪名稱: 伯東企業（上海）有限公司

主營產品或服務: 銷售：德國普發,pfeiffer,氦質譜檢漏儀,渦輪分子泵,真空閥門采購：暫無

經營模式: 貿易公司-外商獨資

商鋪類型: 外商獨資

商鋪主頁: http://hakuto.jdzj.com/

主要經營地點: 上海市外高橋保稅區希雅路33號17號樓3層

貿易地區: 華東，華南

商鋪狀態: 開通第12年

所屬行業: 儀器儀表 ---> 檢測儀器

上海伯東代理 IBE 離子束刻蝕設備為 MRAM 磁性存儲器干法刻蝕提供解決方案, 可以刻蝕不易刻蝕的金屬或合成堆棧膜層 Ta, Ru, Pt … 及介質層 SiO2, SiNx … IBE 離子束刻蝕設備實現離子刻蝕 Ion Beam Etch, 離子清洗 Ion Beam Pre-clean.

上海伯東 IBE 離子束刻蝕設備特點
1. 離子束刻蝕設備可撘配美國 KRi 考夫曼品牌 RFICP 射頻離子源, 針對客戶所需不同的基板尺寸 2 ~12寸硅片, 離子束分布均勻性可以優于95% 以上, 達到高刻蝕均勻性

2. 樣品臺裝置設計為可調式旋轉, 刻蝕傾斜角度 0° ~170° 可以達到更佳刻蝕均勻性. 另外, 在載盤部分可以選擇氦冷裝置, 實現刻蝕工藝時對基板的冷卻效果.

3. 進樣腔體可以選擇自動進樣設計或是手動進樣設計, 實現單片或是多片進樣選擇, 同時保持刻蝕工藝腔體處于真空狀態, 達到連續性工藝.

上海伯東 IBE 離子束刻蝕設備案例: 滿足刻蝕線條寬度, 準直度的高要求
IBE 離子束刻蝕設備案例: 滿足刻蝕線條寬度, 準直度的高要求

上海伯東代理 IBE 離子束刻蝕設備可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 是一種干法物理納米級別的刻蝕, 刻蝕均勻性 ≤±5%(部分材料 ±3%). IBE 刻蝕機幾乎滿足所有材料的刻蝕. 例如磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 廣泛應用于 RF 射頻器件, MEMS 傳感器, 磁性器件 … 等研究.
對于“難去除”的材料比如貴金屬（如金和鉑）, 壓電材料（鋯鈦酸鉛 PZT, 鈮酸鋰 LiNbO3 和氮化鋁鈧 AlScN, 或用于 MRAM 和 STT-MRAM 的材料（如 AL2O3 , Ni, Fe, Cr, Co, Cu, Mn 和 Pd 等）上海伯東 IBE 離子束刻蝕設備同樣有著穩定的刻蝕均勻性.

若您需要進一步的了解 IBE 離子束刻蝕設備詳細信息, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )
F: +86-21-5046-1490
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )
www.hakuto-vacuum.cn

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東葉小姐 1391-883-7267
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